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精密金属掩膜版卷对卷收放料系统:FMM及蚀刻制程专用洁净度传输解决方案

发布时间:2025-11-28 16:41:43 人气:

本设备专为精密金属掩膜版(FMM)及金属蚀刻卷料的前处理/显影/蚀刻/减薄湿制程而设计,实现与湿线设备的自动联机生产,满足洁净度、精度传输要求。
核心配置与功能:
◆负载大卷径处理:支持大卷径1000mm、重量1000KG的INVAR36金属卷材,配备6英寸气涨轴及液压叉车辅助上料接口
◆精度传输控制:收放卷位各配置两组EPC纠偏系统,纠偏精度±0.5mm;包胶压辊主动拉料,确保材料无划伤、无皱纹
◆洁净环境保障:全密封铝型材外罩+FFU过滤系统(Class100洁净等级),配合静电消除装置(3秒内1000V降至100V)
◆智能联机控制:支持与湿线设备信号连接,实现自动联机工作,具备手动/自动两种操作模式
关键参数:
a.加工材料:INVAR36等金属材质,厚度10-200μm,宽度150-600mm
b.卷材规格:MAX卷径1000mm(6英寸卷芯),支持定制规格
c.传输方式:主动拉料+辅助送料,输送高度与客户清洗机对接

d.品质标准:收卷后端面整齐度≤±0.5mm,表面无划伤、无皱纹

东莞市正凯机电设备有限公司主要从事TP、LCD、FPC、PCB等行业设备的生产厂家。公司拥有一批工程师及技术骨干,有20多年的研发、设计、制作设备的经验,为给客户提供售后服务并拓展业务,我公司还在江苏、福建均设有分公司。公司秉承“科技创新、诚信为本”的经营理念,以客户为中心,为客户服务为宗旨,全力以赴、快速反应,持续改善让客户满意,与合作伙伴们共同发展壮大。有需要的客户可以直接联系我们。

精密金属掩膜收放料机

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