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精密金属掩膜版(FMM)卷对卷自动化收放料系统

发布时间:2026-03-07 21:58:30 人气:

卷对卷收放料机专为FMM及金属蚀刻卷料的湿制程(前处理/显影/蚀刻/减薄)配套设计,实现重型、超薄金属卷材在自动化产线中的收放卷作业。集成精度纠偏、洁净防护、静电消除与重型物料处理功能,旨在与湿制程设备联机同步,构建稳定、洁净的连续化生产线,满足电子制造的严苛要求。
核心系统与技术特点:
◆纠偏与物料管理:收、放卷端均配置双组EPC自动纠偏系统,纠偏精度达0.5mm,确保卷材传输与收卷端面整齐。配备在线接料平台与压料夹,支持不停机接驳。
◆洁净与静电控制环境:整机采用铝型材与透明防静电PVC密封,维持内部正压无尘。关键工位配备静电消除棒,可快速消除材料表面静电。
◆重型宽幅卷材处理:采用6英寸气胀轴固定,支持人工配合电动液压叉车进行上下料。
◆智能联机与稳定运行:采用手动/自动及联机工作模式,可与湿制程主线实现信号互联与速度同步。输送滚轮经镜面与阳极处理,旨在确保物料传输无划伤、无褶皱。
主要技术参数:
加工材料:INVAR36等金属,厚度10-200μm,宽度150-600mm
纠偏精度:±0.5mm
洁净等级:Class 100(内部)

工作模式:支持单机手动、自动及与湿线联机自动运行

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卷对卷收放料机

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