热板式退火结晶炉专为钙钛矿薄膜等材料的退火与结晶工艺设计,采用独特的“抽屉式托盘+上下独立控温热板”结构。通过双面加热与可控气氛环境,旨在为300×300mm玻璃基板提供均匀、稳定、洁净的热处理平台,满足对温度均匀性与工艺环境有严苛要求的研发与小批量制备。
核心系统与特点:
◆上下双面均匀加热:共配置6块独立控温的铝制加热板,通过下加热板热传导与上加热板热风对流,对基板进行双面同步加热,有效加热区域内温度均匀性可达±3℃。
◆洁净可控的工艺环境:设备配备带流量控制的进气口,可按需通入氮气等惰性保护气体。全金属热场与封闭式设计,避免有机物污染,满足钙钛矿材料对洁净度的要求。
◆手动便捷与安全操作:采用手动推拉的抽屉式托盘,单次可处理两片样品,操作简便直接。加热腔关闭后通过搭扣锁紧密封,并设有独立超温保护装置。
◆精密可靠的温控系统:采用PID温度控制器配合SSR(固态继电器)进行相位控制,升温速率可编程设定,控温响应快、稳定性高,max温度200℃。
主要技术参数:
a、适用基板:300mm × 300mm × 3.2mm玻璃
b、温度均匀性:±3℃(有效加热区400×400mm内)
c、温度范围:室温 ~ 200℃
d、气氛控制:配备带流量计的进气接口
f、加热方式:上下层独立PID控温,电热丝加热铝板传导
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