【设备概述】
热板式退火结晶炉专为钙钛矿太阳能电池的退火结晶工艺研发,采用独特的“上下双层热板+热风辅助”复合加热模式。针对300×300mm基材,实现±3℃的温度均匀性,满足钙钛矿薄膜在洁净环境下的晶化需求。
【核心工艺亮点】
a.双向立体加热:创新采用6块铝质加热板(上3下3),形成上下对称的加热场。上加热板均布吹气孔,将加热后的洁净热风垂直吹向玻璃表面,结合下加热板的传导热,彻底消除双面受热温差,确保结晶一致性。
b.温控精度:搭载PID温控器与SSR相位输出控制,控温响应快、稳定性高。空载环境下,炉内温度均匀性严格控制在±3℃以内,工作温度可达200℃。
c.洁净气氛可控:设备配备独立进气口并集成流量控制系统,可精确导入氮气等工业气体,构建工艺所需的保护性气氛。配合上下层独立控温功能,灵活应对复杂的退火曲线设定。
d.人性化抽屉设计:采用伸缩式托盘结构,手动推拉顺滑(直线轴承导向)。托盘下方镂空设计,大化热辐射效率;前端配置拉手与锁紧搭扣,确保加热过程中密封稳固。单次可处理2片300×300×3.2mm玻璃。
e.安全防护:炉内集成独立超温保护装置,一旦温度异常即刻切断电源,配合前端的100mm厚保温层,保障人员与设备安全。
【设备构成】
设备由抽屉式托盘、铝质加热系统、保温层、冷却排风机构及机架电控柜五部分组成。结构紧凑,维护便捷。
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