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FMM及金属蚀刻卷料收放卷系统—湿制程联机的洁净度输送平台

发布时间:2026-09-01 19:55:53 人气:

【设备概述】
卷对卷收放料机专为精密金属掩膜版(FMM)及金属蚀刻卷料加工制程设计,配合前处理、显影、蚀刻、减薄等湿制程产线实现柔性材料的连续输送。支持厚度10-200μm、宽度150-600mm的INVAR36等金属卷料处理,兼容卷径1000mm、重量1000kg的重型卷材。通过双EPC纠偏、Class 100级FFU洁净罩及静电消除系统,为金属卷料的湿制程加工提供洁净、稳定的收放卷方案。
【核心技术亮点】
①双端纠偏:放卷与收卷端各配置一组EPC自动纠偏装置,纠偏精度±0.5mm。配合气胀轴主动收卷与辅助拉料滚轮,收卷后端面整齐度可控制在±0.5mm以内,有助于减少材料边缘不齐导致的浪费。
②洁净度防护:整机采用铝挤型材框架+透明防静电PVC外罩全密封,顶部配置FFU过滤单元(过滤效率Class 100),维持罩内正压环境,减少外部微粒污染。
③静电控制:放卷位与收卷位各配置一支静电消除棒,距材料300mm处测量,3秒内可将静电从1000V降至100V,有助于减少静电吸附粉尘导致的表面缺陷。
④重型卷材适配:配置6英寸气胀轴固定卷芯(其他规格可配气胀套转),大支持卷径1000mm、重量1000kg的卷材。上下料采用人工配合电动液压叉车,操作较为便利。
⑤联机协同作业:支持手动/自动双模式。自动模式下与清洗机主体信号连接,实现放卷-湿制程-收卷全流程联动。放卷与收卷均配有接料平台及压料夹,换料操作较为便捷。

⑥表面防护设计:所有输送滚轮采用铝制镜面滚轮,表面阳极处理。配合合理的张力控制,材料表面出现划伤或皱纹的风险较低。

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卷对卷收放料机

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