【设备概述】
钝化层退火设备专用于半导体及玻璃制程中钝化层(Passivation Layer)的退火结晶工艺。采用四层主固化结构,层高65mm,热风循环加热配合百级过滤系统,实现洁净度环境下的均匀加热。设备支持连线自动工作,有助于减少人工干预,提升生产连续性与效率。
【核心技术亮点】
①四层主固化结构:炉体内部设4层固化通道,单层高度65mm,可同时容纳多层产品进行退火结晶。该布局在有限占地面积内提升产能密度,适合批量连续生产。
②伺服丝杆炉门升降:炉门升降由伺服电机驱动,配合两侧精密丝杆传动,运行平稳。相比传统气动或手动炉门,重复定位一致性好,有助于减少开关门过程中热量外溢与微粒扰动。
③热风循环加热系统:采用热风循环方式,经百级过滤器过滤后的洁净热风以水平送风方式吹向玻璃/基材表面进行加热。热风循环有助于炉内温度均匀分布,减少局部温差导致的结晶不均匀。
④百级洁净过滤:循环风道内安装耐温280℃的百级过滤器,对进入加热区的空气进行微粒过滤。该配置适用于对洁净度有要求的钝化层退火制程,有助于降低产品表面颗粒污染风险。
⑤风量调节系统:配置Φ120mm排风口×1、Φ120mm进风口×1,均通过蝶阀调节开度,可控制进出风量比例以维持炉内微正压或工艺所需气压平衡。另设Φ120mm散热风口×1,用于开门时及时排出外溢热量,缩短恢复时间。
⑥连线自动化:支持与前段/后段设备连线自动工作,减少人工搬运环节,有助于降低产品破损率与表面污染风险,提升整体生产效率。
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