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曝光设备结构与自动化配置

发布时间:2025-06-27 21:39:02 人气:

1. 曝光方式选择
接触式曝光:掩膜版与基板直接贴合,分辨率高但掩膜版易损耗,适合小批量打样。
非接触式曝光:
接近式(间隙 5-50μm):减少掩膜磨损,适合中大批量生产;
投影式(如扫描曝光):无接触损耗,适合高精度连续生产(如 FPC 卷对卷工艺)。
2. 自动化与智能功能
必备配置:
自动上下料机械臂(提升效率 30%);
视觉对位系统(CCD 相机 + 图像算法,对位精度≤±5μm);
温湿度闭环控制(温度 ±1℃,湿度 ±5% RH,避免光刻胶受潮失效)。
进阶功能:
远程运维系统(通过工业以太网实时监控设备状态);

工艺配方存储(支持 100 组以上不同产品参数切换)。                                    

东莞市正凯机电设备有限公司主要从事TP、LCD、FPC、PCB等行业设备的专业生产厂家。公司拥有一批专业的工程师及技术骨干,有20多年的研发、设计、制作设备的专业经验,为给客户提供优质的售后服务并拓展业务,我公司还在江苏、福建均设有分公司。公司秉承“科技创新、诚信为本”的经营理念,以客户为中心,为客户服务为宗旨,全力以赴、快速反应,持续改善让客户满意,与合作伙伴们共同发展壮大。有需要的客户可以直接联系我们。

卷对卷曝光机

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