精密金属掩膜版卷对卷收放料系统：FMM及蚀刻制程专用洁净度传输解决方案
来源：https://www.dgzkjd.com
发布时间：2025-11-28 16:41:43
本设备专为精密金属掩膜版（FMM）及金属蚀刻卷料的前处理/显影/蚀刻/减薄湿制程而设计，实现与湿线设备的自动联机生产，满足洁净度、精度传输要求。
核心配置与功能：
◆负载大卷径处理：支持大卷径1000mm、重量1000KG的INVAR36金属卷材，配备6英寸气涨轴及液压叉车辅助上料接口
◆精度传输控制：收放卷位各配置两组EPC纠偏系统，纠偏精度±0.5mm；包胶压辊主动拉料，确保材料无划伤、无皱纹
◆洁净环境保障：全密封铝型材外罩+FFU过滤系统（Class100洁净等级），配合静电消除装置（3秒内1000V降至100V）
◆智能联机控制：支持与湿线设备信号连接，实现自动联机工作，具备手动/自动两种操作模式
关键参数：
a.加工材料：INVAR36等金属材质，厚度10-200μm，宽度150-600mm
b.卷材规格：MAX卷径1000mm（6英寸卷芯），支持定制规格
c.传输方式：主动拉料+辅助送料，输送高度与客户清洗机对接
核心配置与功能：
◆负载大卷径处理：支持大卷径1000mm、重量1000KG的INVAR36金属卷材，配备6英寸气涨轴及液压叉车辅助上料接口
◆精度传输控制：收放卷位各配置两组EPC纠偏系统，纠偏精度±0.5mm；包胶压辊主动拉料，确保材料无划伤、无皱纹
◆洁净环境保障：全密封铝型材外罩+FFU过滤系统（Class100洁净等级），配合静电消除装置（3秒内1000V降至100V）
◆智能联机控制：支持与湿线设备信号连接，实现自动联机工作，具备手动/自动两种操作模式
关键参数：
a.加工材料：INVAR36等金属材质，厚度10-200μm，宽度150-600mm
b.卷材规格：MAX卷径1000mm（6英寸卷芯），支持定制规格
c.传输方式：主动拉料+辅助送料，输送高度与客户清洗机对接
d.品质标准：收卷后端面整齐度≤±0.5mm，表面无划伤、无皱纹
东莞市正凯机电设备有限公司主要从事TP、LCD、FPC、PCB等行业设备的生产厂家。公司拥有一批工程师及技术骨干，有20多年的研发、设计、制作设备的经验，为给客户提供售后服务并拓展业务，我公司还在江苏、福建均设有分公司。公司秉承“科技创新、诚信为本”的经营理念，以客户为中心，为客户服务为宗旨，全力以赴、快速反应，持续改善让客户满意，与合作伙伴们共同发展壮大。有需要的客户可以直接联系我们。
