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    支持手动/自动双模式切换|FMM湿制程收放卷设备

    来源:https://www.dgzkjd.com 发布时间:2026-05-06 14:40:14

    金属掩膜版(FMM)及金属蚀刻卷料加工的核心配套设备,可与前处理、显影、蚀刻、减薄等湿制程产线联机运行,实现柔性材料全自动湿制程加工,大幅提升生产效率。

    核心参数

    ◆适配材料:支持INVAR36金属材质加工,兼容10~200μm厚度、150mm~600mm宽度卷材,适配卷径1000mm、卷重1000KG的6英寸卷芯料盘,特殊规格可定制
    ◆上下料方案:人工配合电动液压叉车完成料卷装卸,采用气涨轴固定,标配6英寸气涨轴,其他规格可搭配气涨套转换
    ◆输送配置:输送高度可匹配现场清洗机参数,默认面对操作面从左向右输送,采用收卷轴包胶压辊主动拉料、放卷机拉料滚轮辅助送料的搬送模式
    ◆精度保障:放卷、收卷位各配备两组EPC纠偏装置,纠偏精度±0.5mm;收卷端面整齐度控制在±0.5mm以内,加工后材料表面无划伤、无褶皱
    功能优势
    ◆操作模式:支持手动/自动双模式切换,自动模式下可与清洗机主体信号互联,实现全流程联机运行;手动模式支持单机调试作业
    ◆洁净防护:整机采用铝挤型材搭配透明防静电PVC外罩密封,顶部FFU过滤效率达Class100,维持设备内部正压洁净环境
    ◆静电控制:放卷、收卷位共配置2支静电消除棒,材料300mm处测量,3秒内可将1000V静电降至100V以下
    ◆接料设计:放卷、收卷端均配有接料平台及两组压料夹,换料操作便捷

    ◆耐用配置:主体机架采用铁件焊接+烤漆工艺,滚轮为铝制镜面滚轮,表面做阳极氧化处理,使用寿命更长。

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