平行光源单面双工位曝光机：专为FILM黄光制程设计的精度曝光系统
来源：www.dgzkjd.com
发布时间：2025-12-17 20:22:04
平行光源单面双工位曝光机专为FILM（干膜/湿膜）黄光制程开发，采用进口平行光源与双工位交替曝光平台。系统具备Class 100级洁净环境、真空吸附与精密温控，满足微米级线路的 光需求。
核心系统与特性：
◆精度平行光曝光：采用进口5KW平行光曝光灯及曲面反射光学系统，平行半角DA<2°，确保光线垂直度，实现线宽/线距30μm的精密图形曝光。
◆双工位设计：两组玻璃对玻璃曝光平台（真空吸附）交替进出曝光区，实现取放片与曝光过程并行，大幅提升设备综合利用率与生产节拍。
◆稳定可靠的运行环境：曝光平台平面精度达0.02mm以内，配备≥400mmHg的真空吸附系统，确保FILM与MASK紧密贴合；机内维持Class 100洁净度，冰水系统精确控温，保障工艺稳定性。
◆智能安全控制：配备动作到位传感器、灯室过热保护及门开灯熄等连锁安全装置，采用程序化控制，操作安全可靠。
主要技术规格：
a.有效曝光面积：400mm × 500mm
核心系统与特性：
◆精度平行光曝光：采用进口5KW平行光曝光灯及曲面反射光学系统，平行半角DA<2°，确保光线垂直度，实现线宽/线距30μm的精密图形曝光。
◆双工位设计：两组玻璃对玻璃曝光平台（真空吸附）交替进出曝光区，实现取放片与曝光过程并行，大幅提升设备综合利用率与生产节拍。
◆稳定可靠的运行环境：曝光平台平面精度达0.02mm以内，配备≥400mmHg的真空吸附系统，确保FILM与MASK紧密贴合；机内维持Class 100洁净度，冰水系统精确控温，保障工艺稳定性。
◆智能安全控制：配备动作到位传感器、灯室过热保护及门开灯熄等连锁安全装置，采用程序化控制，操作安全可靠。
主要技术规格：
a.有效曝光面积：400mm × 500mm
b.曝光平台：>500mm × 600mm（双工位）
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