曝光设备结构与自动化配置
来源：https://www.dgzkjd.com
发布时间：2025-06-27 21:39:02
1. 曝光方式选择
接触式曝光：掩膜版与基板直接贴合，分辨率高但掩膜版易损耗，适合小批量打样。
非接触式曝光：
接近式（间隙 5-50μm）：减少掩膜磨损，适合中大批量生产；
投影式（如扫描曝光）：无接触损耗，适合高精度连续生产（如 FPC 卷对卷工艺）。
2. 自动化与智能功能
必备配置：
自动上下料机械臂（提升效率 30%）；
视觉对位系统（CCD 相机 + 图像算法，对位精度≤±5μm）；
温湿度闭环控制（温度 ±1℃，湿度 ±5% RH，避免光刻胶受潮失效）。
进阶功能：
远程运维系统（通过工业以太网实时监控设备状态）；
接触式曝光：掩膜版与基板直接贴合，分辨率高但掩膜版易损耗，适合小批量打样。
非接触式曝光：
接近式（间隙 5-50μm）：减少掩膜磨损，适合中大批量生产；
投影式（如扫描曝光）：无接触损耗，适合高精度连续生产（如 FPC 卷对卷工艺）。
2. 自动化与智能功能
必备配置：
自动上下料机械臂（提升效率 30%）；
视觉对位系统（CCD 相机 + 图像算法，对位精度≤±5μm）；
温湿度闭环控制（温度 ±1℃，湿度 ±5% RH，避免光刻胶受潮失效）。
进阶功能：
远程运维系统（通过工业以太网实时监控设备状态）；
工艺配方存储（支持 100 组以上不同产品参数切换）。
东莞市正凯机电设备有限公司主要从事TP、LCD、FPC、PCB等行业设备的专业生产厂家。公司拥有一批专业的工程师及技术骨干，有20多年的研发、设计、制作设备的专业经验，为给客户提供优质的售后服务并拓展业务，我公司还在江苏、福建均设有分公司。公司秉承“科技创新、诚信为本”的经营理念，以客户为中心，为客户服务为宗旨，全力以赴、快速反应，持续改善让客户满意，与合作伙伴们共同发展壮大。有需要的客户可以直接联系我们。
